n 產(chǎn)品介紹
NanoFocus µsprint topographer是***個(gè)獨(dú)立的桌面3D測量系統(tǒng)。機(jī)臺上的X.Y軸和3D傳感器可以提供必不可少的高精度數(shù)據(jù)采集的穩(wěn)定性。µsprint設(shè)備包含有控制柜、電子設(shè)備和PC,還可以根據(jù)客戶的需求進(jìn)行定制,如自動(dòng)放置sample的自動(dòng)機(jī)械手。µsprint軟件提供多種掃描和數(shù)據(jù)分析的功能。通過共聚焦顯微鏡相結(jié)合的µsprint原理,真正的3D信息與史無前列的測量速度和記錄分析的高準(zhǔn)確性。µsprint多通道3D傳感器, 采集數(shù)據(jù)的預(yù)處理,同時(shí)每個(gè)通道實(shí)時(shí)監(jiān)測到的峰高度并保存測量的峰值強(qiáng)度,因?yàn)樗砹吮砻娣瓷渎省乃型緩将@取的數(shù)據(jù)由多通道µsprint的傳感器每秒運(yùn)作8000次,它的運(yùn)作類似于線檢查相機(jī)。正因?yàn)閭鞲衅鞯母卟蓸勇?,可以以高速移?dòng)的物體或傳感器,從而可以在很短的時(shí)間內(nèi)進(jìn)行大面積掃描。所有采集的高度和強(qiáng)度數(shù)據(jù)被合并成***個(gè)3D地形圖像和強(qiáng)度圖像。
n 應(yīng)用
1.電子設(shè)備:檢測對表面磨損,表面粗糙度,表面微結(jié)構(gòu)有要求的零部件
2.半導(dǎo)體:檢測微型電子系統(tǒng),封裝及輔助產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
3.醫(yī)療:模具表面檢測
4.金屬/力學(xué):測試金屬摩擦大面積表面
5.鋼鐵:檢測軋輥鋼棍在處理前后的表面形貌
6.玻璃/光學(xué):大面積的透鏡表面形貌
7.紙張:紙張、錢幣表面三維形貌測量

n 技術(shù)參數(shù)
1,原理:多通道、非接觸、共聚焦
2,信道數(shù):128
3,采樣率(每通道):8000 s-1
4,外形尺寸 (LxHxW):260 x 194 x 99 mm
5,工作距離:0.5-30 mm
6,高度范圍:100µm- 2.5 mm
7,掃描寬度:435 µm - 2.5 mm
8,掃描深度:8 - 200 mm/s
9,Z方向的分辨率:0.05-13 µm
10,x,y方向分辨率:3.4-17 µm
11,光斑直徑:1 µm
12,電源:110/230 V AC, 15 W
13,激光二極管的波長:830 nm

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